Isọdi eefin ti ara (Idasilẹ Vapor Ti ara, PVD) imọ-ẹrọ tọka si lilo awọn ọna ti ara labẹ awọn ipo igbale lati sọ dada ti orisun ohun elo kan (lile tabi omi) sinu awọn ọta gaseous tabi awọn ohun elo, tabi ionize apakan sinu awọn ions, ati kọja nipasẹ kekere. - gaasi titẹ (tabi pilasima). Ilana, imọ-ẹrọ kan fun fifipamọ fiimu tinrin pẹlu iṣẹ pataki kan lori dada ti sobusitireti, ati ifisilẹ oru ti ara jẹ ọkan ninu awọn imọ-ẹrọ itọju oju akọkọ. Imọ-ẹrọ PVD (isọdi orule ti ara) ni akọkọ pin si awọn ẹka mẹta: ibora evaporation igbale, ibora sputtering igbale ati ibora ion igbale.
Awọn ọja wa ti wa ni o kun lo ninu gbona evaporation ati sputtering bo. Awọn ọja ti a lo ninu isunmọ oru ni okun waya tungsten, awọn ọkọ oju omi tungsten, awọn ọkọ oju omi molybdenum, ati awọn ọkọ oju omi tantalum awọn ọja ti a lo ninu ibora itanna elekitironi jẹ okun waya tungsten cathode, crucible Ejò, tungsten crucible, ati awọn ẹya iṣelọpọ molybdenum Awọn ọja ti a lo ninu ibora sputtering pẹlu titanium. awọn ibi-afẹde, awọn ibi-afẹde chromium, ati awọn ibi-afẹde titanium-aluminiomu.
