Awọn ọna evaporation elekitironi jẹ iru kan ti igbale evaporation ti a bo, eyi ti o nlo elekitironi nibiti lati ooru awọn ohun elo evaporation taara labẹ awọn ipo igbale, vaporize awọn evaporation ohun elo ati ki o gbe o si awọn sobusitireti, ati condense lori sobusitireti lati fẹlẹfẹlẹ kan ti tinrin fiimu. Ninu ẹrọ alapapo elekitironi, ohun elo ti o gbona ni a gbe sinu omi ti a fi omi ṣan omi, eyiti o le yago fun iṣesi laarin ohun elo evaporation ati odi crucible ati ni ipa lori didara fiimu naa. Ọpọ crucibles le wa ni gbe sinu ẹrọ lati se aseyori igbakana tabi lọtọ evaporation ati iwadi oro ti awọn orisirisi oludoti. Pẹlu evaporation elekitironi, eyikeyi ohun elo le jẹ evaporated.
Electron tan ina evaporation le evaporate ga-yo ojuami ohun elo. Ti a ṣe afiwe pẹlu evaporation igbona alapapo gbogbogbo, o ni ṣiṣe igbona giga, iwuwo lọwọlọwọ tan ina giga, ati iyara evaporation iyara. Fiimu ati fiimu ti ọpọlọpọ awọn ohun elo opiti gẹgẹbi gilasi adaṣe.
Awọn iwa ti itanna tan ina evaporation ni wipe o yoo ko tabi ṣọwọn bo awọn ẹgbẹ meji ti awọn afojusun onisẹpo onisẹpo be, ki o si maa nikan idogo lori afojusun dada. Eyi ni iyatọ laarin evaporation tan ina elekitironi ati sputtering.
Evaporation tan ina elekitironi jẹ lilo nigbagbogbo ni aaye ti iwadii semikondokito ati ile-iṣẹ. Agbara elekitironi onikiakia ni a lo lati kọlu ibi-afẹde ohun elo, nfa ibi-afẹde ohun elo lati yọ kuro ki o dide. Bajẹ idogo lori afojusun.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu kejila-02-2022