Isọdi eefin ti ara (Iwadi Vapor Ti ara, PVD) imọ-ẹrọ n tọka si lilo awọn ọna ti ara labẹ awọn ipo igbale lati sọ dada ti orisun ohun elo (lile tabi omi) sinu awọn ọta gaseous tabi awọn ohun alumọni, tabi apakan ionize sinu awọn ions, ati kọja nipasẹ gaasi titẹ kekere (tabi pilasima). Ilana, imọ-ẹrọ kan fun fifipamọ fiimu tinrin pẹlu iṣẹ pataki kan lori dada ti sobusitireti, ati ifisilẹ oru ti ara jẹ ọkan ninu awọn imọ-ẹrọ itọju oju akọkọ. Imọ-ẹrọ PVD (isọdi orule ti ara) ni akọkọ pin si awọn ẹka mẹta: ibora evaporation igbale, ibora sputtering igbale ati ibora ion igbale.
Awọn ọja wa ti wa ni o kun lo ninu gbona evaporation ati sputtering bo. Awọn ọja ti a lo ninu isunmọ oru pẹlu okun waya tungsten, awọn ọkọ oju omi tungsten, awọn ọkọ oju omi molybdenum, ati awọn ọkọ oju omi tantalum awọn ọja ti a lo ninu ibora itanna elekitironi jẹ okun waya cathode tungsten, crucible Ejò, crucible tungsten, ati awọn ẹya iṣelọpọ molybdenum.
